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蓝宝石(Sapphire)
蓝宝石(Sapphire,又称白宝石,分子式为Al2O3)单晶耐高温、导热好、硬度高、透红外,化学稳定性好,广泛应用在LED制造、LD激光器、激光窗口和红外光学元件、微电子集成电路和高端光学等。它是一种用途广泛的单晶基片材料,是当前蓝、紫、白光发光二极管(LED)和蓝光激光器(LD)工业的首选基片(需先在蓝宝石基片上外延氮化镓薄膜),也是重要的超导薄膜基片,可制作Y-系,La-系等高温超导薄膜外,还可用于生长新型实用MgB2(二硼化镁)超导薄膜(通常单晶基片在MgB2 薄膜的制作过程中会受到化学腐蚀)。
主要性能参数 | |||
晶系 | 六方晶系 | ||
晶胞常数 | a=4.748Å c=12.99Å | ||
密度 | 3.98(g/cm3) | ||
熔点 | 2040℃ | ||
生长方法 | 提拉法,泡生法 | ||
莫氏硬度 | 9 | ||
维氏硬度 | ∥C,1940 ⊥C,2200 | ||
折射率 | 300K时,∥C,1.762 @630nm ⊥C,1.770 @630nm | ||
热膨胀系数 | 5.8x10-6/K | ||
导热系数 | 32 W/Mk (@258°C) | ||
热导率(卡/度 厘米 秒) | ⊥c | //c | |
23℃ | 0.055 | 26℃ 0.060 | |
77℃ | 0.040 | 70℃ 0.041 | |
正切损耗@293K | 1×10-4(1M Hz) | ||
介电常数 | ∥C,11.5 ⊥C,9.3 | ||
透过率 | ≥85%@ 400~4000nm | ||
抗拉强度 | 60,000 psi | ||
抗压强度 | 300,000 psi | ||
模量指数 | 杨氏模量(E): 335GPa 剪切模量(G): 148.1GPa 体积模量(K): 240GPa | ||
松泊比 | 0.25 | ||
晶向 | A-plane | <11-20> | Θ=18°55’ |
R-plane | <1-102> | Θ=18°55’ | |
M-plane | <10-10> | Θ=18°55’ | |
C-plane | <0001> | Θ=18°55’ | |
晶向公差 | ±0.5° | ||
常规尺寸及公差 | 5x5,10×10,15×15,20×20,Ø50.8,Ø76.2,Ø100 | ||
常规厚度及公差 | 0.43mm,0.5mm,0.65mm,1.0mm | ||
抛光 | 单面或双面 | ||
表面粗糙度 | Ra<5å(5×5μm) | ||
包装 | 100级洁净袋,1000级超净室 | ||