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金属Cu单晶
单晶铜Cu金属单晶衬底因其无晶界、高表面平整度、优异的电学与催化性能,在多个前沿科技领域具有重要应用。主要用作于二维材料(石墨烯、六方氮化硼、)、特定合金磁性薄膜、高性能电子器件外延生长的衬底。
二维材料单晶石墨烯外延生长:Cu(111)单晶衬底是化学气相沉积(CVD)法生长晶圆级单晶石墨烯的首选衬底,因其晶格匹配度高,可实现石墨烯岛的对齐成核与无缝拼接,获得高载流子迁移率(>10,000 cm²·V⁻¹·s⁻¹)和均匀薄层电阻的石墨烯晶圆。
其他二维材料:如六方氮化硼(h-BN)、过渡金属硫属化物(TMDCs)等,也可在Cu(111)或其合金衬底上实现取向控制的外延生长。
催化反应平台:高指数晶面单晶Cu箔(如Cu(113))具有丰富的活性位点,在电催化(如CO₂还原、析氢反应)中表现出优于多晶铜的活性与选择性。
微电子与半导体封装:单晶铜(OCC)因低电阻率、高延展性、无晶界散射,广泛用于集成电路键合引线(替代金丝,降低成本)、高速信号传输线、航天导电部件、超细铜线(Φ≤0.018 mm)制造,满足芯片微型化需求。
高性能电子器件衬底:超平坦(Ra < 0.5 nm)、无孪晶界的6英寸单晶Cu(111)晶圆,为柔性电子、光电器件提供理想外延平台,抑制转移过程中的褶皱与裂纹。
主要性能参数 | |
分子式 | Cu |
晶系 | 面心立方晶系 |
晶胞常数 | a=3.607Å |
密度 | 8.98 g/cm3 |
熔点 | 1083℃ |
生长方法 | 坩埚下降法(布里奇曼法) |
纯度 | > 4N |
常规晶向 | <100>;<110>;<111>. |
晶向公差 | ±2° |
常规尺寸及公差 | 5x5,10×10,15×15,20×15,20×20,Ø50.8mm或者根据客户的要求 |
常规厚度及公差 | 0.5mm,1.0mm |
抛光 | 单面或双面 |
表面粗糙度 | Ra<15 nm="">(5×5μm) |
包装 | 100级洁净袋,1000级超净室,易氧化,真空防潮保存 |