主要性能参数

生长方法

籽晶升华法 ,PVT（物理气相传输）

晶体结构

六方

晶格常数

a=3.08 Å c=15.08 Å

方向

<0001>或 <0001>偏4 º

带隙

2.93 eV (间接)

硬度

9.2（mohs）

热传导@300K

5 W/ cm.k

介电常数

e(11)=e(22)=9.66 e(33)=10.33

尺寸

10x3，10x5，10x10，15x15，，20x15，20x20，

Dia2”, Dia4”等

厚度

0.33mm，0.35mm或者按照客户要求定做

抛光

单面或双面

晶向

<0001>±0.5º

晶面定向精度:

±0.5°

边缘定向精度:

2°（特殊要求可达1°以内）

Ra:

≤5Å（5µm×5µm）

包装

100级洁净袋，1000级超净室