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铝酸镧(LaAlO3)
铝酸镧(LaAlO3)单晶是当前最重要的工业化、大尺寸高温超导薄膜基片单晶材料。它用提拉法生长,可以得到直径2英吋及更大的单晶和基片。它与YBa2Cu3O7等高温超导材料和晶格匹配好,介电常数较低,微波损耗小,因而适于制作高温超导微波电子器件(如远程通讯中的高温超导微波滤波器等),有巨大的现实及潜在的应用前景。
主要性能参数 | ||
晶系 | 六方(常温) | 立方(>435℃) |
晶格常数 | 六方a=5.357A c=13.22 A | 立方a=3.821 A |
熔点(℃) | 2080 | |
密度 | 6.52(g/cm3) | |
硬度 | 6-6.5(mohs) | |
热膨胀系数 | 9.4x10-6/℃ | |
介电常数 | ε=21 | |
损耗正切(10ghz) | ~3×10-4@300k,~0.6×10-4@77k | |
颜色及外观 | 依退火状况而不同,由棕黄色到褐色,抛光基片可见自然孪晶畴 | |
化学稳定性 | 室温下不溶于酸,温度大于150℃时可溶于H3PO4 | |
特点 | 适于微波电子器件 | |
生长方法 | 提拉法 | |
尺寸 厚度 | 5x5, 10x10,15x15,20x20,Ø25.4,Ø50.8mm或定制 | |
0.5mm,1.0mm或定制 | ||
抛光 | 单面或双面 | |
晶向 | <100>, <010>,<111> | |
晶面定向精度: | ±0.5°或者0.3° | |
边缘定向精度: | 1°(特殊要求可达1°以内) | |
Ra: | ≤5Å(5µm×5µm) | |
包装 | 100级洁净袋,1000级超净室 | |