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薄膜衬底 >> GaN 薄膜基片 >> 铝酸镁钪(ScMgAlO4)
铝酸镁钪(ScMgAlO4)
 

008
 
简要介绍
ScAlMgO4晶体是最近发展起来的一种GaN和ZnO异质外延用理想的衬底材料,是目前与GaN和ZnO晶格失配最小的新型衬底材料。
详细参数

铝酸镁钪(ScMgAlO4)

ScAlMgO4晶体是最近发展起来的一种GaNZnO异质外延用理想的衬底材料,是目前与GaNZnO晶格失配最小的新型衬底材料。ScAlMgO4晶体属于六方晶系,晶格常数a=0.3246nmc=2.5195nm,具有菱形六面体层状结构,与纤锌矿氮化物和氧化锌的结构相似。

ScAlMgO4是一种与GaNZnO 晶格常数和结构非常匹配的衬底材料(表1。它与GaN的晶格失配率约为1.8%,与ZnO的晶格失配率仅为0.09%a轴的热膨胀系数为6.2×10-6/℃c轴的热膨胀系数为12.2×10-6/℃GaNZnO外延薄膜之间的热膨胀系数失配比传统的蓝宝石和硅等衬底好的多

主要衬底材料与GaNZnO的晶格失配率

衬底材料

ScAlMgO4

(0001)

ZnO

(0001)

SiC

(0001)

β-Ga2O3

(100)

Al2O3

(0001)

Si

(111)

GaN失配

+1.8%

+2.3%

-3.5%

+5%

-13%

+16.9%

ZnO失配

+0.09%

---

-5.2%

-6.5%

-18.4%

+40.1%

提供产品:

方向:(0001

尺寸:5×5mm, 10*10mm, 15*15mm, 20*20mm

 
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