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薄膜衬底 >> 磁性与铁电薄膜基片 >> 铝酸镧(LaAlO3)
铝酸镧(LaAlO3)
 

08
 
简要介绍
          铝酸镧(LaAlO3)单晶是当前最重要的工业化、大尺寸高温超导薄膜基片单晶材料。它用提拉法生长,可以得到直径2英吋及更大的单晶和基片。它与YBaCuO等高温超导材料和晶格匹配好,介电常数较低,微波损耗小,因而适于制作高温超导微波电子器件(如远程通讯中的高温超导微波滤波器等)。有巨大的现实及潜在的应用前景。
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详细参数

主要性能参数
晶系
六方(常温)
立方(>435℃)
晶格常数
六方a=5.357A   c=13.22 A
立方a=3.821 A
熔点(℃)
2080
密度
6.52(g/cm3
硬度
6-6.5(mohs)
热膨胀系数
9.4x10-6/℃
介电常数
ε=21
损耗正切(10ghz)
~3×10-4@300k,~0.6×10-4@77k
颜色及外观
依退火状况而不同,由棕黄色到褐色
抛光基片有自然孪晶畴
化学稳定性
室温下不溶于矿物酸,温度大于150℃时可溶于h3po4
特点
适于微波电子器件
生长方法
提拉法
尺寸
10x3,10x5,10x10,15x15,,20x15,20x20,
Ф15,Ф20,Ф1″,Ф2″,Ф2.6″
厚度
0.5mm,1.0mm
抛光
单面或双面
晶向
<100>  <110>  <111>
晶面定向精度:
±0.5°
边缘定向精度:
2°(特殊要求可达1°以内)
斜切晶片
可按特定需求,加工边缘取向的晶面按特定角度倾斜(倾斜角1°-45°)的晶片
Ra:
≤5Å(5µm×5µm)
包装
100级洁净袋,1000级超净室

 
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