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薄膜衬底 >> 磁性与铁电薄膜基片 >> 钆镓石榴石(GGG)
钆镓石榴石(GGG)
 

03
 
简要介绍
     钆镓石榴石(GGG)是用于磁光薄膜的专用基片。在光通讯设备中,需大量使用1.3μ及1.5μ的光隔离器,其核心部件为置于磁场中的YIG或BIG薄膜。不同切向的GGG单晶基片可以做到与这类磁光材料晶格的最佳匹配,从而保证YIG、BIG薄膜成功的外延生长。GGG良好的物理、机械性能和化学稳定性也保证薄膜制备过程中对基片的各项要求。GGG也是制作微波隔离器的最佳基片材料。
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详细参数

主要性能参数
晶体结构
立方
生长方法
提拉法
晶格常数
a=12.376Å,(Z=8) 
熔点(℃)
1800
纯度
99.95%
密度(g/cm3
7.09
硬度
6-7(mohs)
折射率
1.95
尺寸
10x3,10x5,10x10,15x15,,20x15,20x20,
dia2” x 0.33mm dia2” x 0.43mm 15 x 15 mm
厚度
0.5mm,1.0mm
抛光
单面或双面
晶向
<111>±0.5º
晶面定向精度:
±0.5°
边缘定向精度:
2°(特殊要求可达1°以内)
斜切晶片
可按特定需求,加工边缘取向的晶面按特定角度倾斜(倾斜角1°-45°)的晶片
Ra:
≤5Å(5µm×5µm)
包装
100级洁净袋,1000级超净室
 
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