单晶靶材--上海光机所微纳光电材料事业部

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单晶靶材

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技术参数

　　

材料	纯度	最大尺寸
Al2O3	4N	Dia3〞
MgO	4N	Dia2〞
SrTiO3	4N	Dia30
Si	5N	Dia4〞
SiO2	5N	Dia4〞
Ge	5N	Dia4〞，Dia2〞
LaAlO3	4N	Dia2〞，Dia3〞

配件详情：

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